Přejít k hlavnímu obsahu
  • Přihlášení
  • Kalendář akcí
  • organizační struktura
  • Kontakt
  • Fotogalerie

Vyhledávání

  • Čeština
  • English
Domů
  • Laserové svařování
  • Difrakční optický prvek
  • Laserová svařovací hlava
  • Absorpční laserová spektroskopie
  • Opticky zachycená nanočástice
  • Elektronová svářečka
  • Speciální elektronika
  • Mikroskop pro pomalé elektrony
  • Identifikace biomasy Ramanovou spektroskopií
  • Magnetická rezonance
  • Holografická endoskopie optickým vláknem
  • ÚSTAV
  • Výzkum
  • Aplikační sféra
  • Veřejnost a média
  • Virtuální prohlídka
  • Novinky
  • Publikace

Jste zde

Domů

Publications

Export 1 results:
  • BibTeX
  • RTF
  • Tagged
  • MARC
  • XML
  • RIS
Filtry: Autor je Thomas Arnold  [Clear All Filters]
2025
Heinke R, Šilhan L, Ehrhardt M, Lorenz P, Zajadacz J, Bauer J, Arnold T, Šerý M, Zimmer K. Stability of masking materials for pattern transfer of lithographic masks into fused silica by atmospheric pressure plasma jet etching. Micro and Nano Engineering, 28, 100309 (2025).
  • DOI
  • Google Scholar
  • BibTeX
  • RTF
  • Tagged
  • MARC
  • XML
  • RIS

© Copyright ISI CAS.

Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Sciences