Rastrovací mikroskopie pomalými elektrony

Rastrovací mikroskopie pomalými elektrony využívá princip tzv. katodové čočky brzdící elektronový svazek bezprostředně před povrchem vzorku. Elektronový svazek je tedy zformován a zaostřen na vysoké energii a díky tomu stopa dopadajícího svazku určující rozlišení obrazu může zůstat velice malá pro všechny energie elektronů od 15 keV až do 1 eV. Unikátní řešení detektoru nabízí velmi vysokou účinnost sběru signálu a vysoké zesílení i při nejnižších energiích.

Výhody a příklady aplikací:

 

  • Zmenšený prostor interakce pomalých elektronů uvnitř vzorku a tedy zlepšené rozlišení pro reálné vzorky spolu se zvýšenou povrchovou citlivostí.
  • Zvýšený signál sekundárních elektronů zlepšující poměr signálu k šumu obrazového signálu.
  • Zobrazení nevodivých preparátů při optimální energii elektronů nevyvolávající lokální nabíjení ani ve vysokém vakuu.
  • Hloubkové zkoumání vzorku pomocí tomografie založené na proměnné energii elektronů.
  • Zobrazení dopantů v polovodičích a měření jejich hustoty.
  • Nastavení energie elektronů na maximální materiálový kontrast pro konkrétní kombinace materiálů.
  • Zachycování signálních elektronů odražených pod velkými úhly vůči optické ose, které přenášejí vysoký krystalický kontrast.