Vysokorozlišovací rastrovací elektronová mikroskopie s analytickými technikami

Rastrovací elektronová mikroskopie vysokého rozlišení nachází uplatnění v téměř všech vědeckých odvětvích. V kombinaci s rtg mikroanalýzou, EBSD a katodoluminiscencí je zdrojem informací o topografii povrchu preparátu, jeho krystalografické orientaci a lokálním kvantitativním chemickém složení.

Rastrovací elektronové mikroskopy:

  • FEI MAGELLAN 400
  • JEOL JSM 6700F
  • TESCAN VEGA 5130

Analyzátory:

  • Energy dispersive analyzer of X-rays (INCA 350 and EDAX Apolo X)
  • Electron Back Scattered Diff raction Analyzer (Hikari)
  • Cathodoluminescence detector (Gatan MonoCL)

Výhody a příklady aplikací:

  • Zobrazování pomocí detektorů prošlého i odraženého signálu poskytuje komplexní informaci o preparátu.
  • Povrch lze pozorovat při velmi nízkých energiích elektronů až do 1 eV při vysokém rozlišení.
  • Sekundární elektrony informující o topografii povrchu jsou zachycovány dvěma vzájemně se doplňujícími detektory.
  • Zpětně odražené elektrony jsou rovněž detekovány různými detektory s možností zachytit veškerou emisi tohoto signálu včetně elektronů odražených pod velkými úhly, které jsou v konvenčních přístrojích opomíjeny.
  • Prošlé elektrony jsou detekovány segmentovým detektorem STEM, schopnýmzobrazovat v režimech světlého pole (BF), temného pole (DF) a temného pole pod vysokým úhlem (HAADF). Detektor má vysokou sběrovou účinnost v širokém rozsahu energií primárního svazku od desítek eV do 30keV. 
  • Subnanometrové rozlišení, dosahované bez použití korektoru optických vad, je plně dostačující pro zkoumání prakticky všech mikro- a nano-struktur. 
  • Kvantitativní chemické složení v kombinaci se zobrazením při vysokém rozlišení ponechává jen málo neznámého o jakémkoliv vzorku.
  • EBSD detektor umožňuje určit krystalografickou orientaci, studovat defekty, identifikovat fáze a hranice zrn u mnoha materiálů.
  • Katodoluminiscenční detektor Mono CL 4 detekuje signál z ultrafialové, viditelné i infračervené oblasti emitovaný například minerály, biologickými vzorky, polovodiči, ale i vzorky s omezeným objemem jako jsou nanovlákna, tenké filmy a nanočástice. Emisní spektra jsou zobrazována s velmi vysokým prostorovým rozlišením.