Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM

058301

Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM

Projekt se zabývá aktuálním a velmi důležitým problémem, a to studiem vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů a jejich selektivní detekci v podmínkách vysokého tlaku plynů VP-SEM. V teoretické části je projekt zaměřen na simulace interakcí elektronů s molekulami plynu, na studium vzniku signálů, vzniku a koncentrace iontů a rekombinačních procesů pomocí přídavného modulu softwaru EOD využívajícího metody Monte Carlo. Praktická část projektu je zaměřena na realizaci unikátního detektoru pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů, kde sekundární elektrony jsou znásobeny účinkem magnetického pole v prostředí vysokého tlaku plynů a odkloněny elektrostatickým polem na detekční elektrodu umístěnou v rovině vzorku. Zpětně odražené elektrony jsou detekovány pomocí monokrystalu YAG:Ce3+ umístěného nad vzorkem.
Řešitel v ÚPT: 
doc Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D.
Řešitel: 
Vilém Neděla - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GAP102/10/1410
Datum od: 
1. 1. 2010
Datum do: 
31. 12. 2013