Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografii

6241

Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografii

Programový projekt je zaměřen na optimalizaci a zdokonalení výrobních postupů v elektronové litografii. Konkrétně se jedná o postupy spojené s elektronovým litografem řady BS 600, který pracuje s tvarovaným pravoúhlým svazkem elektronů. Výzkum a vývoj vedoucí k markantnímu zlepšení parametrů těchto aparatur i souvisejících technologií a výrobních postupů v průmyslovém nasazení je hlavním obsahem tohoto programového projektu.
Řešitel v ÚPT: 
doc. Ing. Vladimír Kolařík, Ph.D.
Řešitel: 
Tomáš Těthal - Optaglio s.r.o
Spoluřešitelé: 

Vladimír Kolařík - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
MPO
Reg. č.: 
FR-TI1/576
Datum od: 
1. 7. 2009
Datum do: 
30. 6. 2012