Mnohokanálová spektro-mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony

5511

Mnohokanálová spektro-mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony

Cílem projektu je navrhnout metodiku, sestavit experimentální zařízení a vypracovat postupy mnohakanálového sběru obrazových dat v rastrovacím elektronovém mikroskopu, a to v kombinaci mikroskopie Augerovými elektrony a pomalými elektrony v řádu jednotek keV až jednotek eV, až po sestavování třírozměrného obrazu, manipulace s ním a jeho grafickou prezentaci. Pro detekci Augerových elektronů bude experimentální zařízení doplněno o energiový analyzátor s hyperbolickým polem, který umožňuje současnou detekci 512 signálů podle spektra. Obrazová data budou pro jednotlivé energie pomalých elektronů snímána postupně, avšak za použití systému s katodovou čočkou, kdy je energie dopadu elektronů dostavována až pod objektivem za minimálních zásahů do tubusu mikroskopu, takže je možné snímat vzájemně konsistentní obrazy. Budou řešeny otázky kalibrace signálových kanálů co do poměru signálu k šumu, korelace mezi obrazovými vrstvami a prezentace třírozměrného obrazu metodami 3D grafiky a pseudobarevně.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Miroslav Horáček, Ph.D.
Řešitel: 
Ilona Müllerová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Spoluřešitelé: 

Miroslav Horáček - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Luděk Frank - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IAA1065304
Datum od: 
1. 1. 2003
Datum do: 
31. 12. 2005