Měření lokální tloušťky tenkých vzorků a hmotnosti jednotlivých nanočástic pomocí REM

Vhodně kalibrovaný rastrovací elektronovýmikroskop (REM) lze použít také pro kvantitativní zobrazování. Pokud je REM vybaven velmi citlivým prstencovým detektorem pro temné pole (angl. annular dark-field, ADF), jeho signál lze pomocíMonte Carlo simulací použít proměření:

  • lokální tloušťky tenkých filmů a nanočástic,molekulární hmotnostimakromolekulárních komplexů (např. hmotnosti jednotlivých částic, hmotnosti na jednotku délky filamentů a hmotnosti na jednotku plochy vrstev).
  • V případě, že je celý systémkalibrován, tzn. že jeho nastavení je vztaženo k aktuálním parametrům dopadajícího elektronového svazku a jsou známy detekční charakteristiky, můžeme s jeho pomocí provádět absolutníměření bez jakýchkoliv standardů.