- elektronový litograf Tesla BS600 vyvinutý na ÚPT v letech 1977-1984;
průběžně modernizovaný až do současnosti;
- postupy pro seřízení litografu;
- technologické, litografické a testovací značky;
- clony pro tvarování obdélníkového svazku;
- rozložení proudové hustoty ve svazku;
- emitéry elektronů.
|
|
|
 |
|
Skupina elektronové litografie
Oblasti výzkumu:
Nabízené technologie:
|
Elektronový litograf Tesla BS600
- Elektronový litograf s tvarovaným svazkem a urychlovacím napětím 15 kV.
- Rozlišení zápisu (pozicování svazku) 50 nm.
- Velikost svazku 50-6300 nm (standardní mód); 17-2100 nm (TZ mód).
- Expoziční pole 3 × 3 mm2 (max).
- Korekce rozptylových jevů při expozici.
|
|
|
|
 |
|
|
| Srovnávací studie: čtyři metody měření proudové hustoty ve svazku elektronů. |
|
|
| Emitéry elektronů |
|
|
   |
|
|
| Hrot emitéru elektronů (vlevo), emisní obrazec (uprostřed) a krystalografický model hrotu (vpravo). |
|
|
