EDSpot - simulace elektronové stopy

EDSpot je software pro výpočet vlnové funkce elektronu a profilů svazku v blízkosti roviny obrazu na základě elektronové difrakce na aperturách. Jsou brány v úvahu aberace, prostorová i časová nekoherence. Jsou zvlášť řešeny osově symetrické systémy, které jsou počítané pomoci 1D difrakčního integrálu a osově nesymetrické systému počítané pomoci 2D difrakčního intgralu, při jehož řešení využíváme algoritmus FFT.  Znalost proudové hustoty umožňuje výpočet rozlišení, obecnou simulaci obrazu ve skenovacím elektronovém mikroskopu, vlnová funkce pak lze použít pro simulaci obrazu v skenovacím transmisním elektronovém mikroskopu. Program umožňuje výpočet difrakce na obecných 2D amplitudových i fázových aperturách (kruhových, anulárních,  vortexových aperturách, fázových destičkách, ...).

 

ESD

3D profil svazku v multi-beam systému

 

ESD

Longitudiální profil svazku v případě kruhové a anulární clony (prostorově koherentní a prostorově inkoherentní případy)

 

ESD

Profil svazku i rovině obrazu za amplidudovou vortexovou aperturou