Diagnostika tenkých vrstev

S klesající energií dopadu elektronů na vzorek strmě roste povrchová citlivost zobrazení, poněvadž hloubka průniku elektronů se s energií zkracuje rychleji než lineárně. Studujeme-li pokrytí povrchů tenkými vrstvami, pak rychlé elektrony zviditelní nanejvýš otvory a praskliny ve vrstvách, zatímco pomalé elektrony bezpečně diagnostikují přilnavost vrstev a veškeré další detaily.