Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu

5517

Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu

Rastrovaci elektronový mikroskop (SEM) je tradičně považován za nekoherentně zobrazující zařízení produkující topografický resp. materiálový kontrast v obraze vytvářeném rastrováním po jednotlivých bodech. SEM s pomalými elektrony na bázi katodové čočky, vyvinutý v předchozích projektech, dovoluje použít energie elektronů v řádu jednotek až desítek eV, vhodné pro vznik vlnově optických kontrastů v SEM. Především jde o využití jednotlivých difraktovaných svazků LEED obrazce pro získání informace o lokální krystalické orientaci povrchu a jejím vývoji. Další vlnově optické kontrasty vznikají zachycením interferenčního pole vln odražených od teras po stranách povrchových atomových stupňů, resp. odražených od obou povrchů velmi tenkých povrchových vrstev. Tyto kontrasty lze využít ke studiu raných stádií růstu povrchových vrstev, ke studiu multivrstev (zejména v šikmých řezech) pomocí proužků stejné tloušťky, atd. Při řešení předchozích projektů byla získána priorita v tomto oboru a první demonstrační výsledky prokazující možnost získání difrakčního kontrastu v SEM. Podstatou projektu je provedení experimentů prokazujících i ostatní vlnově optické kontrasty v SEM a vypracování metod využití tohoto typu kontrastů ke studiu povrchů a tenkých vrstev.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Ilona Müllerová, DrSc.
Řešitel: 
Ilona Müllerová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IAA1065901
Datum od: 
1. 1. 1999
Datum do: 
31. 12. 2002