Studium ultratenkých vrstev a jejich soustav připravených rf magnetronovým naprašováním

6413

Studium ultratenkých vrstev a jejich soustav připravených rf magnetronovým naprašováním

Ultratenké vrstvy a soustavy těchto vrstev budou připraveny pomocí rf magnetronového naprašování. Kvalita vrstev v závislosti na depozičních podmínkách a drsnosti podložky bude zkoumána především úhlově a spektrálně závislou imerzní elipsometrií a profilometrií. Základním předmětem výzkumu bude drsnost rozhraní mezi vrstvami a spojitost vrstev.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
Řešitel: 
Jiří Hrdina - FYZIKÁLNÍ ÚSTAV AV ČR
Spoluřešitelé: 

Jaroslav Sobota - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IAA2010536
Datum od: 
1. 1. 1995
Datum do: 
31. 12. 1997