Publikace - Elektronová litografie

Pro podrobné hledání publikací je možné využít on-line katalog ASEP.

 

 

Článek v odborném periodiku

2019

Knápek, Alexandr, Šikula, J., Bartlová, M. Fluctuations of focused electron beam in a conventional SEM. Ultramicroscopy.  2019, 204, 49-54. ISSN 0304-3991. ABSTRACT

Kolařík, Vladimír, Horáček, Miroslav, Knápek, Alexandr, Krátký, Stanislav, Matějka, Milan, Meluzín, Petr. Spiral arrangement: From nanostructures to packaging. Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis.  2019, 70(1), 74-77. E-ISSN 1339-309X.

Kolařík, Vladimír, Horáček, Miroslav, Knápek, Alexandr, Krátký, Stanislav, Matějka, Milan, Meluzín, Petr. Spiral arrangement: From nanostructures to packaging. Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis.  2019, 70(1), 74-77. ISSN 1335-3632. ABSTRACT

Konvalina, Ivo, Mika, Filip, Krátký, Stanislav, Materna-Mikmeková, Eliška, Müllerová, Ilona. In-Lens Band-Pass Filter for Secondary Electrons in Ultrahigh Resolution SEM. Materials.  2019, 12(14), 2307. ISSN 1996-1944. ABSTRACT 

2018

Knápek, Alexandr, Horáček, Miroslav, Chlumská, Jana, Kuparowitz, T., Sobola, D., Šikula, J. Preparation and noise analysis of polymer graphite cathode. Metrology and Measurement Systems. 2018, vol. 25, iss. 3, pp. 451-458. ISSN 0860-8229.  ABSTRACT 

Pilát, Zdeněk, Kizovský, Martin, Ježek, Jan, Krátký, Stanislav, Sobota, Jaroslav, Šiler, Martin, Samek, Ota, Buryška, T., Vaňáček, P., Damborský, J., Prokop, Z., Zemánek, Pavel. Detection of chloroalkanes by surface-enhanced raman spectroscopy in microfluidic chips. Sensors. 2018, vol. 18, iss. 10, 3212. ISSN 1424-8220.  ABSTRACT

2017

Knápek, Alexandr, Sobola, D., Tománek, P., Pokorná, Zuzana, Urbánek, Michal. Field emission from the surface of highly ordered pyrolytic graphite. Applied Surface Science.  2017, vol. 395, pp. 157-161. ISSN 0169-4332. ABSTRACT

Knápek, Alexandr, Sýkora, Jiří, Chlumská, Jana, Sobola, D. Programmable set-up for electrochemical preparation of STM tips and ultra-sharp field emission cathodes. Microelectronic Engineering.  2017, vol. 173, pp. 42-47. ISSN 0167-9317. ABSTRACT

Knápek, Alexandr, Horáček, Miroslav, Chlumská, Jana, Král, Stanislav. Studená autoemisní katoda z tuhy do mikrotužky?. Jemná mechanika a optika.  2017, roč. 62, č. 10, s. 251-253. ISSN 0447-6441.

Krátký, Stanislav, Kolařík, Vladimír, Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. Combined e-beam lithography using different energies. Microelectronic Engineering.  2017, roč. 177, pp. 30-34. ISSN 0167-9317. ABSTRACT

Maňka, Tadeáš, Šerý, Mojmír, Lazar, Josef, Číp, Ondřej, Krátký, Stanislav, Zemánek, Pavel. Laserový systém pro odměřování reliéfu MIEMS vytvářeného metodou hlubokého reaktivního leptání. Jemná mechanika a optika.  2017, roč. 62, č. 10, s. 270-272. ISSN 0447-6441.

2016

Bok, Jan; Horáček, Miroslav; Kolařík, Vladimír; Urbánek, Michal; Krzyžánek Vladislav. Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers. Microelectronic Engineering, 2016, vol. 149, JAN., pp. 117-124. ISSN 0167-9317. ABSTRACT

2015

Knápek, Alexandr;  Radlička, Tomáš; Krátký, Stanislav. Simulation and Optimization of a Carbon Nanotube Electron Source. Microscopy and Microanalysis. 2015, vol. 21, iss. S4, pp. 60-65. ISSN 1431-9276. ABSTRACT

Krátký, Stanislav; Urbánek, Michal; Chlumská, Jana; Matějka, Milan; Meluzín, Petr;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav. Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem. Jemná mechanika a optika. 2015, roč. 60, č. 1, s. 10-13. ISSN 0447-6441.

Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír. PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning. Microscopy and Microanalysis.  2015, vol. 21, iss. S4, pp. 2030-235.  ISSN 1431-9276. ABSTRACT

2014

Urbánek, Michal; Krátký, Stanislav; Matějka, Milan; Kolařík, Vladimí; Horáček, Miroslav. Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou. Chemické listy. 2014, roč. 108, č. 10, s. 937-941. ISSN 0009-2770. ABSTRACT

Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav. Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano. Chemické listy. 2014, roč. 108, č. 6, s. 592-595. ISSN 0009-2770. ABSTRACT

2013

Bok, Jan; Kolařík, Vladimí; Horáček, Miroslav; Matějka, Milan; Matějka, František. Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2013, vol. 31, iss. 3, 031603:1-6. ISSN 1071-1023. ABSTRACT

2012

Horáček, Miroslav;  Matějka, František;  Kolařík, Vladimír; Matějka, Milan; Urbánek, Michal. Nano modifikace hrotu W(100)/ZrO elektronového emitéru reaktivním iontovým leptáním. Jemná mechanika a optika. 2012, roč. 57, č. 10, s. 278-280. ISSN 0447-6441.

2011

Kolařík, Vladimír;  Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal. Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením. Jemná mechanika a optika. 2011, roč. 56, č. 11-12, s. 312-316. ISSN 0447-6441.

Kroupa, M.;  Jakubek, J.; Krejčí, F.;  Žemlička, J.;  Horáček, Miroslav;  Radlička, Tomáš; Vlček, Ivan. Coincidence imaging system with electron optics. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section A. 2011, vol. 633, Supl. 1, S270-S273. ISSN 0168-9002. ABSTRACT

Monografie

2013

Matějka, František.Praktická elektronová litografie. Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013. 88 s. ISBN 978-80-87441-04-6

Konferenční příspěvek - zahraniční konference

2018

Horáček, Miroslav, Knápek, Alexandr, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Urbánek, M., Mika, Filip, Kolařík, Vladimír. Hiding e-beam exposure fields by deterministic 2D pattering. In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar.  Brno: Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018, 36-37. ISBN 978-80-87441-23-7.

Maňka, Tadeáš, Šerý, Mojmír, Krátký, Stanislav, Zemánek, Pavel. Laser system for measuring MEMS relief created by the method of deep reactive ion etching. In: Zemánek, Pavel, ed. 21st Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. (Proceedings of SPIE 10976).  Bellingham: SPIE, 2018, 109760M. ISBN 9781510626072. ISSN 0277-786X.

Meluzín, Petr, Tryhuk, V., Horáček, Miroslav, Knápek, Alexandr, Krátký, Stanislav, Matějka, Milan, Kolařík, Vladimír. Silver micro drop structured twice around the earth. In: Metal 2018 - 27th International conference on metallurgy and materials, Conference Proceedings.  Ostrava: TANGER Ltd, 2018, 1175-1180. ISBN 978-80-87294-84-0.

Pilát, Zdeněk, Kizovský, Martin, Ježek, Jan, Krátký, Stanislav, Sobota, Jaroslav, Šiler, Martin, Samek, Ota, Buryška, T., Vaňáček, P., Damborský, J., Prokop, Z., Zemánek, Pavel. Surface-enhanced Raman spectroscopy of chloroalkanes in microfluidic chips. In: Zemánek, Pavel, ed. 21st Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. (Proceedings of SPIE 10976).  Bellingham: SPIE, 2018, 1097619. ISBN 9781510626072. ISSN 0277-786X.

Rodenburg, C., Masters, R., Abrams, K., Dapor, M., Krátký, Stanislav, Mika, Filip. Secondary electron hyper spectral imaging in helios nanolab - mapping materials properties or artefacts? In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar.  Brno: Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018, 68-69. ISBN 978-80-87441-23-7.

Řiháček, Tomáš, Horák, M., Schachinger, T., Matějka, Milan, Mika, Filip, Müllerová, Ilona. Creation of electron vortex beams using the holographic reconstruction method in a scanning electron microscope. In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar.  Brno: Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018, 66-67. ISBN 978-80-87441-23-7.

Saqib, M., Knápek, Alexandr, Jelenc, J., Pirker, L. Field emission from W5O14 nanowires. In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar.  Brno: Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018, 34-35. ISBN 978-80-87441-23-7.

Urbánek, M., Urbánek, P., Kuřitka, I., Kolařík, Vladimír. Photolitography on flexible substrates. In: 9th International conference on nanomaterrials - research & application (NANOCON 2017). Proceedings.  Ostrava: TANGER, 2018, 914-917. ISBN 978-80-87294-81-9.

2017

Krátký, Stanislav, Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Oulehla, Jindřich, Pesic, Z. Lift-off technology for thick metallic microstructures. In: METAL 2017. 26th International Conference on Metallurgy and Materials. Conference Proceedings.  Ostrava: TANGER, 2017, s. 1298-1302. ISBN 978-80-87294-79-6. [METAL 2017. International Conference on Metallurgy and Materials /26./, Brno, 24.05.2017-26.05.2017, CZ].

Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Krátký, Stanislav, Knápek, Alexandr, Mika, Filip, Chlumská, Jana, Matějka, František, Král, Stanislav, Brunn, Ondřej, Giričová, D., Kopal, Jaroslav, Kolařík, Vladimír. Deterministicky aperiodické obrazové zařízení. In: Růžička, Bohdan ed. Sborník příspěvků multioborové konference LASER57.  Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2017, s. 34-35. ISBN 978-80-87441-21-3. [LASER57, Třešť, 08.11.2017-10.11.2017, CZ].

Knápek, Alexandr, Horáček, Miroslav, Hrubý, František, Šikula, J., Kuparowitz, T., Sobola, D. Noise behaviour of field emission cathode based on lead pencil graphite. In: 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC).  Piscataway: IEEE, 2017, s. 274-275. ISBN 978-1-5090-3975-3. E-ISSN 2380-6311. [International Vacuum Nanoelectronics Conference /30./ (IVNC), Regensburg, 10.07.2017-14.07.2017, DE].

Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Krátký, Stanislav, Matějka, Milan, Kolařík, Vladimír. Phyllotactic Arrangements of Optical Elements. In: Holography: Advances and Modern Trends V. (Proceedings of SPIE 10233).  Bellingham: SPIE, 2017, č. článku 102331G. ISBN 978-1-5106-0967-9. ISSN 0277-786X. [Holography: Advances and Modern Trends /5./, Prague, 24.04.2017-27.04.2017, CZ].

Krátký, Stanislav, Meluzín, Petr, Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Chlumská, Jana, Král, Stanislav. Blaze Gratings with a Ribbed Back Slope. In: NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings.  Ostrava: Tanger, 2017, s. 757-761. ISBN 978-80-87294-71-0. [NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, Brno, 19.10.2016-21.10.2016, CZ].

Matějka, Milan, Kolařík, Vladimír, Horáček, Miroslav, Král, Stanislav. Parameter Optimization of Multi-Level Diffraction Gratings. In: NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings.  Ostrava: Tanger, 2017, s. 751-756. ISBN 978-80-87294-71-0. [NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, Brno, 19.10.2016-21.10.2016, CZ].

Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Řiháček, Tomáš, Kolařík, Vladimír, Chlumská, Jana, Urbánek, Michal. Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes. In: NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings.  Ostrava: Tanger, 2017, s. 709-714. ISBN 978-80-87294-71-0. [NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, Brno, 19.10.2016-21.10.2016, CZ

Meluzín, Petr, Horáček, Miroslav, Krátký, Stanislav, Kolařík, Vladimír. Structural Colors of Self-Similar Nano Patterns. In: NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings.  Ostrava: Tanger, 2017, s. 703-708. ISBN 978-80-87294-71-0. [NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, Brno, 19.10.2016-21.10.2016, CZ].

Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Krátký, Stanislav, Urbánek, Michal, Bok, Jan, Kolařík, Vladimír. Phyllotactic Model Linking Nano and Macro World. In: NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings.  Ostrava: Tanger, 2017, s. 680-684. ISBN 978-80-87294-71-0. [NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, Brno, 19.10.2016-21.10.2016, CZ].

2016

Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Bok, Jan. Large-area gray-scale structures in e-beam writer versus area current homogeneity and deflection uniformity. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 26-27. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ]. ABSTRACT

Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Krátký, Stanislav; Meluzín, Petr; Chlumská, Jana; Matějka, Milan; Král, Stanislav. Laser a fylotaxe. In Sborník příspěvků multioborové konference LASER56. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2016, S. 36-37. ISBN 978-80-87441-18-3. [LASER56., Třešť, 19.10.2016-21.10.2016, CZ].

Konvalina, Ivo; Mika, Filip; Krátký, Stanislav; Müllerová, Ilona. Bandpass filter for secondary electrons in SEM - simulations. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 28-29. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ].

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. Combined e-beam lithography using different energies. In MNE. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering. Viena: Mondial, 2016. [International Conference on Micro and Nano Engineering /42./, Vienna, 19.09.2016-23.09.2016, AT].

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Holá, Miroslava; Meluzín, Petr. E-beam grayscale exposures into acrylic-glass plate. In MNE. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering. Vienna: Mondial, 2016. [International Conference on Micro and Nano Engineering /42./, Vienna, 19.09.2016-23.09.2016, AT].

Mika, Filip; Konvalina, Ivo; Krátký, Stanislav; Müllerová, Ilona. Bandpass filter for secondary electrons in SEM - experiments. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 36-37. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ]. ABSTRACT

Řiháček, Tomáš; Mika, Filip; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Müllerová, Ilona. Difraction in a scanning electron microscopie. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 56-57. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ].

2015

Konvalina, Ivo; Mika, Filip; Müllerová, Ilona; Krátký, Stanislav. Band-pass-filter for secondary electrons in ultra-high resolution SEM. In MC 2015. Microscopy Conference Proceedings. Göttingen: DGE, 2015, S. 378-379. [Microscopy Conference 2015, Göttingen, 06.09.2015-11.09.2015, DE]

Krátký, Stanislav;  Meluzín, Petr;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír. Amplitudově fázová vortexová maska. In Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, S. 32-33. ISBN 978-80-87441-16-9. [LASER 55, Třešť, 21.10.2015-23.10.2015, CZ]

Řiháček, Tomáš;  Mika, Filip;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Müllerová, Ilona . Study of the coherence of the primary beam in the low energy scanning electron microscope. In MC 2015. Microscopy Conference Proceedings. Göttingen: DGE, 2015, S. 611-612. [Microscopy Conference 2015, Göttingen, 06.09.2015-11.09.2015, DE]

2014

Horáček, Miroslav;  Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal; - Kolařík, Vladimír;  Meluzín, Petr;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana. Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam. In NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

Horáček, Miroslav;  Bok, Jan;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav. Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers. In 18th International Microscopy Congres. Proceedings. Praha : Czechoslovak Microscopy Society, 2014. ISBN 978-80-260-6720-7.  [International Microscopy Congres /18./. Praha (CZ), 07.09.2014-12.09.2014]

Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Bok, Jan. Structural Color of Metallic Surfaces. In METAL 2014. 23. ročník mezinárodní konference metalurgie a materiálů. Conference Proceedings. Ostrava : TANGER, 2014, s. 962-967. ISBN 978-80-87294-52-9. [METAL 2014. Mezinárodní konference metalurgie a materiálů /23./. Brno (CZ), 21.05.2014-23.05.2014]

Krátký, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal;  Paták, Aleš;  Horáček, Miroslav;  Matějka, Milan. E-beam Nano-patterning for Electroforming Replication.    in NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav;  Chlumská, Jana;  Matějka, Milan;  Šerý, Mojmír;  Mikel, Břetislav. Fázové masky vyrobené elektronovou litografií a iontovým leptáním pro přípravu vláken s braggovými mřížkami. In [Phase photo masks produced by means of electron beam lithography and ion etching for Bragg gratings.] Sborník příspěvků multioborové konference Laser54. Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2014, s. 31-32. ISBN 978-80-87441-13-8. [Laser54. Třešť (CZ), 29.10.2014-31.10.2014]

Meluzín, Petr;  Horáček, Miroslav;  Urbánek, Michal;  Bok, Jan;   Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana;  Kolařík, Vladimír. Some Other Gratings: Benchmarks for Large-Area E-Beam Nanopatterning. In NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

Müllerová, Ilona;   Radlička, Tomáš; - Mika, Filip;  Krzyžánek, Vladislav;  Neděla, Vilém;  Sobota, Jaroslav;  Zobač, Martin;  Kolařík, Vladimír;  Starčuk jr., Zenon;  Srnka, Aleš;  Jurák, Pavel;  Zemánek, Pavel;  Číp, Ondře;  Lazar, Josef;  Mrňa, Libor . Main Activites of the Institute of Scientific Instruments. In Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v. v. i, 2014, s. 7-8. ISBN 978-80-87441-12-1. [Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM. Mikulov (CZ), 26.08.2014-31.08.2014]

Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Šimík, M.;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav;  Matějka, Milan. Plasmonic Structures In PMMA Resist. In NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

2013

Chlumská, Jana;  Kolařík, Vladimír;  Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Horáček, Miroslav Lift-Off technique using different e-beam writers. In NANOCON 2013. 5th International conference proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 286-290. ISBN 978-80-87294-47-5. [NANOCON 2013. International Conference /5./. Brno (CZ), 16.10.2013-18.10.2013]

Kolařík, Vladimír;  Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav. Microstructuring of metallic layers for sensor applications. In METAL 2013 Conference Proceedings. 22nd International Conference on Metallurgy and Materials. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 1069-1073. ISBN 978-80-87294-41-3. [METAL 2013. International Conference on Metallurgy and Materials /22./. Brno (CZ), 15.05.2013-17.05.2013]. ABSTRACT

Krátký, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Horáček, Miroslav;  Chlumská, Jana. Comparison of ultimate resolution achieved by e-beam writers with shaped beam and with Gaussian beam.  InNANOCON 2013. 5th International conference proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 392-398. ISBN 978-80-87294-47-5. [NANOCON 2013. International Conference /5./. Brno (CZ), 16.10.2013-18.10.2013]

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimí;  Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Chlumská, Jana Monte-Carlo simulation of proximity effect in e-beam lithography. In NANOCON 2013. 5th International conference proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 723-726. ISBN 978-80-87294-47-5. [NANOCON 2013. International Conference /5./. Brno (CZ), 16.10.2013-18.10.2013]

2012

Bok, Jan;  Horáček, Miroslav;  Král, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, František . Analysis of electron current instability in E-beam writer. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 295-299. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Bok, Jan;  Kolařík, Vladimír. Measurements of current density distribution in e-beam writer.  In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 7-8 ISBN 978-80-87441-07-7. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Horáček, Miroslav;  Matějka, František;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal. Nano modification of the W(100)/ZrO electron emitter tip using reactive ion etching. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 723-728. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal ; Matějka, František;  Matějka, Milan. Thin Metallic Layers Structured by E-beam Lithography. In METAL 2012 Conference Proceedings. 21st International Conference on Metallurgy and Materials. Ostrava : TANGER Ltd, 2012. ISBN 978-80-87294-29-1. ABSTRACT

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Matějka, František;  Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Horáček, Miroslav - Král, Stanislav;  Bok, Jan. Calibration specimens for microscopy. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 713-716. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Kolařík, Vladimí; - Horáček, Miroslav;  Matějka, František;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Král, Stanislav;  Bok, Jan. E-beam pattern generator BS600 and technology zoom. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 822-825. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Kolařík, Vladimír;  Zobač, Martin;  Fořt, Tomáš;  Vlček, Ivan;  Dupák, Libor;  Mikmeková, Šárka;  Mikmeková, Eliška;  Mrňa, Libor;  Horáček, Miroslav;  Sobota, Jaroslav. Institute of Scientific Instruments: An Overview Presenatation. In METAL 2012 Conference Proceedings. 21st International Conference on Metallurgy and Materials. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 26-31. ISBN 978-80-87294-29-1.  [METAL 2012. International Conference on Metallurgy and Materials /21./. Brno (CZ), 23.05.2012-25.05.2012]

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Král, Stanislav;  Krátký, Stanislav;  Mikšík, P. ; Vašina, J. Proximity effect simulation for variable shape e-beam writer. In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 75-76 ISBN 978-80-87441-07-7. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Kolařík, Vladimír;  Matějka, František;  Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Urbánek, Michal;  Bok, Jan;  Krátký, Stanislav;  Král, Stanislav;  Mika, Filip. What is the buzz about the TZ mode. In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 37-38 ISBN 978-80-87441-07-7. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan. Thermal-field electron emission W(100)/ZrO cathode: facets versus edges. In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 27-28 ISBN 978-80-87441-07-7.[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Matějka, Milan;  Urbánek, M.;  Kolařík, V.;  Horáček, M.;  Krátký, Stanislav;  Mikšík, P. ; Vašina, J. Variable-shape E-beam litography: Proximity effect simulation of 3D micro and nano sructures. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 729-732. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Matějka, František;  Bok, Jan;  Mikšík, P.;  Vašina, J. Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction.  In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 717-722. ISBN 978-80-87294-32-1.  [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

2011

Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír. Scanning Probe Microscopy: Measuring on Hard Surfaces. In NANOCON 2011. 3rd International Conference. Ostrava : Tanger spol. s r. o, 2011, s. 701-704. ISBN 978-80-87294-27-7.  [NANOCON 2011. International Conference /3./. Brno (CZ), 21.09.2011-23.09.2011]. ABSTRACT

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan. SPM Nanoscratching in the Sub 100 nm Resolution. InNANOCON 2011. 3rd International Conference. Ostrava : Tanger spol. s r. o, 2011, s. 213-217. ISBN 978-80-87294-27-7. [NANOCON 2011. International Conference /3./. Brno (CZ), 21.09.2011-23.09.2011]. ABSTRACT

2010

Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Král, Stanislav. Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter. In Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress. Rio de Janeiro : Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise, 2010, I1.12: 1-2. ISBN 978-85-63273-06-2. [International Microscopy Congress (IMC17) /17./. Rio de Janeiro (BR), 19.09.2010-24.09.2010]

Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Král, Stanislav. Modification of the Schottky Fe ZrO/W electron emitter. In Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 13-14. ISBN 978-80-254-6842-5.  [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]. ABSTRACT

Matějka, Milan;  Rek, Antonín;  Mika, Filip;  Fořt, Tomáš;  Matějková, Jiřina. Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis. In Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 29-32. ISBN 978-80-254-6842-5.  [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]. ABSTRACT

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Král, Stanislav;  Dvořáková, Marie. Determination of proximity effect forward scattering range parameter in e-beam lithography. In Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 67-68 ISBN 978-80-254-6842-5. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]. ABSTRACT

Konferenční příspěvek - lokální konference

2012

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan. Počítačem generované hologramy - CGH. In Růžička, B.; Čeledová, J.(ed.).  Sborník příspěvků multioborové konference LASER52. Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2012, s. 31 ISBN 978-80-87441-08-4. [LASER52. Třešť (CZ), 31.10.2012-02.11.2012]

Aplikované výsledky

2019

Pikálek, Tomáš, Hucl, Václav, Krátký, Stanislav, Kolařík, Vladimír, Číp, Ondřej. Bezkontaktní snímač rozptýleného světla pro povrchovou diagnostiku. 2019.

2018

Drozd, Michal, Knápek, Alexandr, Král, Stanislav, Matějka, Milan, Chlumská, Jana, Pavelka, Jan, Kolařík, Vladimír, Krátký, Stanislav, Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr. Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu. 2018.

Knápek, Alexandr, Sobola, D. STM sonda z grafitu a metody její přípravy. 2018.

Meluzín, Petr, Krátký, Stanislav, Kopal, Jaroslav, Kolařík, Vladimír. Difrakční obrazové zařízení s motivem 100 let Republiky. 2018.

2017

Kolařík, Vladimír, Meluzín, Petr, Horáček, Miroslav, Král, Stanislav, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana. Fylotaktické difrakční obrazové zařízení. 2017.

Krátký, Stanislav, Ježek, Jan, Pilát, Zdeněk, Sobota, Jaroslav. Substrát pro SERS. 2017.

Meluzín, Petr, Krátký, Stanislav, Matějka, Milan, Chlumská, Jana, Horáček, Miroslav, Král, Stanislav, Knápek, Alexandr, Giričová, D., Brunn, Ondřej. Propagační hologram “av21”Strategie AV ČR AV21. 2017.

Smluvní výzkum

2018

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2018-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. Brno: API Optix, 2018. 10 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2018-02: Analýza planárních mikrostruktur vytvářených kombinovaným způsobem zápisu. Brno: API Optix, 2018. 10 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur. Brno: IQ Structures, 2018. 8 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav, Fořt, Tomáš, Oulehla, Jindřich, Pokorný, Pavel. SMV-2018-04: Planární mikrostruktury pro optické aplikace. Brno: Meopta - optika, 2018. 10 s.

Matějka, Milan, Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Chlumská, Jana, Král, Stanislav, Kolařík, Vladimír, Krátký, Stanislav, Knápek, Alexandr. SMV-2018-05: Vývoj testovacích preparátů pro REM. Brno: TESCAN Brno, 2018. 5 s.

2017

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2017-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. Brno: API Optix, 2017. 10 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2017-02: Analýza planárních mikrostruktur vytvářených kombinovaným způsobem zápisu. Brno: API Optix, 2017. 20 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2017-03: Planární mikrostruktury pro optické aplikace.  Brno: IQ Structures, 2017. 20 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2017-04: Vývoj technologie elektronové litografie.  Brno: OpSec Security Limited, 2017. 6 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2017-05: Vývoj matrice pro NIL. Brno: Slovenská technická univerzita v Bratislavě, 2017. 6 s.

Horáček, Miroslav, Kolařík, Vladimír, Matějka, Milan, Krátký, Stanislav, Chlumská, Jana, Meluzín, Petr, Král, Stanislav. SMV-2017-27: Charakterizace vzorků s deponovanými tenkými vrstvami.  Brno: IQ Structures, 2017. 8 s.

Matějka, Milan, Horáček, Miroslav, Meluzín, Petr, Chlumská, Jana, Král, Stanislav, Kolařík, Vladimír, Krátký, Stanislav, Knápek, Alexandr. SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM.  Brno: TESCAN, 2017. 6 s.

2016

Horáček, Miroslav; Kolařík, Vladimír; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Chlumská, Jana; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. SMV-2016-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. Brno: API Optix s.r.o., 2016. 10 s.

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Matějka, Milan; Chlumská, Jana; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. SMV-2016-02: Lift-off technologie pro metalické mikrostruktury. Brno: Thermo Fisher Scientific, 2016. 4 s.

Matějka, Milan; Horáček, Miroslav; Meluzín, Petr; Chlumská, Jana; Král, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Krátký, Stanislav; Fořt, Tomáš; Oulehla, Jindřich; Šerý, Mojmír. SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury. Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2016. 10 s.

2015

Král, Stanislav. SMV-2015-12: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky.  [SMV-2015-12: Relief structures based on diffractive optics.] Brno: API Optix s.r.o, 2015. 10 s.

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2015-14: Technologie elektronové litografie. [SMV-2015-14: Development of e-beam lithography technology.] Brno: Optaglio s.r.o, 2015. 4 s.

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2015-15: Vývoj amplitudově fázové masky. [SMV-2015-15: Development of combined amplitude/phase photo masks.] Brno: Univerzita Palackého v Olomouci, Přírodovědecká fakulta, 2015. 6 s.

Krátký, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Mirosla;  Matějka, Milan; Chlumská, Jana;  Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2015-13: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. [SMV-2015-13: Relief structures based on diffractive optics.] Brno: Optometrics Corp, 2015. 4 s.

Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Meluzín, Pet;  Chlumská, Jana;  Král, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Krátký, Stanislav. SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM. [SMV-2015-35: Development of test speciments for SEM.] Brno: TESCAN Brno s.r.o, 2015. 4 s.

2014

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal; Krátký, Stanislav; Chlumská, Jana; Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2014-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. [SMV-2014-01: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : API Optix s.r.o, 2014. 2 s.

Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Meluzín, Petr;  Chlumská, Jana;  Král, Stanislav;  Kolařík, Vladimír; Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav. SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM. [SMV-2014-28: Development of test specimens for SEM.] Brno : Tescan Brno s.r.o, 2014. 2 s.

2013

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana,  Král, Stanislav. SMV-2013-01: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky. [SMV-2013-01: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : API Optix s.r.o, 2013. 6 s.

Horáček, Miroslav; Kolařík, Vladimír; Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana; Král, Stanislav. SMV-2013-15: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky. [SMV-2013-15: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : IQ Structures, s.r.o, 2013. 6 s.

2012

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav; Chlumská, Jana;  Král, Stanislav. SMV-2012-05: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky. [SMV-2012-05: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : IQ Structures, s.r.o, 2012. 6 s.

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav,  Král, Stanislav. SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM. [Testing specimens for SEM.] Brno : FEI Czech Republic s.r.o, 2012. 5 s.

Matějka, Milan;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav;  Král, Stanislav. SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM. [SMV-2012-12: Testing specimens for SEM.] Brno : TESCAN ORSAY HOLDING, a.s, 2012. 3 s.

Urbánek, Michal. SMV-2012-19: Topografie povrchů tenkých polymerních vrstev. [SMV-2012-19: Topography of thin polymer films.] Brno : Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, 2012. 4 s.

2010

Polívka, L. ; Kolařík, Vladimír; Mikšík, P. Roční zpráva o řešení projektu MPO FR-TI1/574: Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografií. [Annual report, project MPO FR-TI1/574: Optimization of production flow in electron-beam lithography and mastering.] Řež u Prahy : Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, 2010. 116 s.