Prvková mikroanalýza povrchů

V sestavě UHV SLEEM je instalován elektrostatický polokulový analyzátor energií elektronů emitovaných ze vzorku osvětlovaného primárním elektronovým svazkem mikroskopu. Spektrum je zaznamenáváno z celého zorného pole, takže spektrální informace je lokalizována podle předchozího zobrazení povrchu preparátu v režimu SEM nebo SLEEM, které určuje umístění a velikost analyzované oblasti. Spektrum Augerových elektronů obsahuje informaci o prvkovém složení preparátu do hloubky nepřekračující 1 nm.