Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie

452301

Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie

Hlavním cílem tohoto návrhu projektu je výzkum a vývoj interferometrických systémů pro měření v nanotechnologiích.
Řešitel v ÚPT: 
prof. Ing. Josef Lazar, Dr.
Řešitel: 
Tomáš Šikola - Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně
Spoluřešitelé: 

Josef Švejda - ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.
Evžen Babůrek - Optaglio, s.r.o , Řež 199 250 68 CR
Jaroslav Klíma - Tescan s.r.o.
Josef Lazar - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
TA ČR
Reg. č.: 
TE01020233
Datum od: 
1. 3. 2012
Datum do: 
31. 12. 2019