Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie

4521

Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie

V rámci projektu bude zkoumána metodika technik sondové mikroskopie (SPM) s důrazem na vysoké rozlišení umožnující kvantitativní studium objektu velikosti v řádu nanometru a na metrologické souvislosti (návaznost na státní etalon délky). Výzkum metodologie bude zameřen na velmi přesnou interferometrii pro měření malých délek, interferometrická kalibrace ve více osách systému SPM, měření mechanických vlastností nanostruktur a velmi tenkých vrstev pomocí kombinace nanoindentace a SPM a na teoretickou a xperimentální analýzu sil působících v SPM a přístrojích pro nanoindentaci.
Řešitel v ÚPT: 
prof. Ing. Josef Lazar, Dr.
Řešitel: 
Petr Petr Klapetek - Český metrologický institut
Spoluřešitelé: 

Josef Lazar - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Vilma Buršíková - Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta

Agentura: 
AV ČR
Reg. č.: 
KAN311610701
Datum od: 
1. 1. 2007
Datum do: 
31. 12. 2011