Kvantitativní zobrazování radiačně senzitivních vzorků pomocí korelativní detekce signálů v cryo-SEM

593002

Kvantitativní zobrazování radiačně senzitivních vzorků pomocí korelativní detekce signálů v cryo-SEM

Podrobná analýza vzorků citlivých na ozáření elektronovým svazkem v rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM) je v mnoha případech kompromisem mezi dostatečným signálem a nenávratným poškozením vzorku. Použití vysokých proudů, které jsou pro některé analýzy nezbytné, způsobuje jejich destrukci. Kvantitativním hodnocením interakce elektronů s povrchem vzorků je možno stanovit hranici vzniku signifikantního poškození, které může vést k nesprávné interpretaci obrazu nebo naměřených dat. Náplní projektu je výzkum v oblasti pokročilých detekčních systémů v SEM, který povede k vývoji nové metody, jež bude zahrnovat kvantitativní zobrazování a korelaci jednotlivých signálů vznikajících zejména při interakci elektronového svazku s materiálem citlivým na radiační poškození v teplotním rozsahu od pokojových teplot do teplot získaných chlazením tekutým héliem. Důraz je kladen na zpracování vzorků pomocí mrazových technik, kde lze předpokládat uchování struktur blízkých jejich nativnímu stavu. Součástí projektu je vývoj experimentálních aparatur a software, poté ověření metody na řadě vzorků.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Vladislav Krzyžánek, Ph.D.
Řešitel: 
Vladislav Krzyžánek - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA17-15451S
Datum od: 
1. 1. 2017
Datum do: 
31. 12. 2019