Detekční systém pro záznam signálů čistých sekundárních nebo zpětně odražených elektronů v ESEM

5811

Detekční systém pro záznam signálů čistých sekundárních nebo zpětně odražených elektronů v ESEM

Tento projekt se zabývá jedním z dosud nevyřešených problémů v ESEM a to detekcí pravých sekundárních elektronů způsobem, který výrazně eliminuje příspěvek nežádoucích zpětně odražených elektronů. Princip detekce spočívá v odklonění sekundárních elektronů elektrostatickým polem kolem vzorku (separační elektroda) a nad vzorkem (retardační elektroda) směrem k detekční elektrodě v rovině vzorku. Vhodná konfigurace elektrostatických polí detektoru využívá prostorově energiového rozložení emise zpětně odražených elektronů k jejich úplnému odstínění a to včetně sekundárních elektronů, vzniklých jako produkt srážek zpětně odražených elektronů prošlých mřížkou s molekulami plynu. Výsledek činnosti tohoto detektoru bude hodnocen na základě měření příspěvku zpětně odražených elektronů v signálu a ukázkou obrazových kontrastů. Pozornost je také věnována studiu biologických vzorků a
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Vilém Neděla, Ph.D.
Řešitel: 
Vilém Neděla - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
KJB200650602
Datum od: 
1. 1. 2006
Datum do: 
31. 12. 2008