Anorganické vrstvy a nanometrové struktury

0051

Anorganické vrstvy a nanometrové struktury

Příprava a studium vysoce čistých technických vrstev kovů a dielektrik a jejich vícevrstvých kombinací s definovanými optickými, elektrickými a magnetickými parametry, napařených ve vysokém vakuu nebo připravených chemickými metodami; jejich aplikace v optice a mikroelektronice. Elipsometrické studium tenkovrstvých a nanometrových struktur z hlediska informace o interakcích v systémech se sníženou dimenzí a v mnohavrstvových strukturách, morfologických defektech, drsnosti rozhraní, anizotropii, nehomogenitě, a o základních optických konstantách. Charakterizace studovaných materiálů z hlediska jejich složení, stechiometrie, krystalografických vlastností, vzniku jednotlivých fází, vnitřního pnutí apod., srovnání s ostatními metodami.
Řešitel v ÚPT: 
prof. Ing. Rudolf Autrata, DrSc.
Řešitel: 
Jan Šimša - ÚSTAV RADIOTECHNIKY A ELEKTRONIKY AV ČR
Spoluřešitelé: 

Rudolf Autrata - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Lubomír Němec - ÚSTAV ANORGANICKÉ CHEMIE AV ČR
Vladimír Dvořák - FYZIKÁLNÍ ÚSTAV AV ČR

Agentura: 
AV ČR
Reg. č.: 
IPP1067701
Datum od: 
1. 1. 1997
Datum do: 
31. 12. 1999