UPT- 058301
Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM
Projekt se zabývá aktuálním a velmi důležitým problémem, a to studiem vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů a jejich selektivní detekci v podmínkách vysokého tlaku plynů VP-SEM. V teoretické části je projekt zaměřen na simulace interakcí elektronů s molekulami plynu, na studium vzniku signálů, vzniku a koncentrace iontů a rekombinačních procesů pomocí přídavného modulu softwaru EOD využívajícího metody Monte Carlo. Praktická část projektu je zaměřena na realizaci unikátního detektoru pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů, kde sekundární elektrony jsou znásobeny účinkem magnetického pole v prostředí vysokého tlaku plynů a odkloněny elektrostatickým polem na detekční elektrodu umístěnou v rovině vzorku. Zpětně odražené elektrony jsou detekovány pomocí monokrystalu YAG:Ce3+ umístěného nad vzorkem.
Řešitel:Neděla Vilém Ústav přístrojové techniky - Akademie věd České republiky, v.v.i.
Agentura: GA ČR
Reg. č.: GAP102/10/1410
Trvání: 01:01:2010 - 31:12:2013